PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用

產(chǎn)品型號(hào)： M-DW1

所屬分類(lèi)：SUNX傳感器

更新時(shí)間：2024-08-02

簡(jiǎn)要描述：PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量距離 45mm
檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓（注2）
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面（注3）
檢測(cè)角度 12.5±5°（注4）
晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)（注5）

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PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量距離 45mm

檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)

檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)

環(huán)境性能 保護(hù)構(gòu)造  IP20(IEC)

        使用環(huán)境溫度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：−10?＋70℃

        使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH

        使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

        耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

        緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

        耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

        耐沖擊 耐久98m/s²(約10G) XYZ方向各5回

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開(kāi)放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

靈敏度切換輸入 信號(hào)條件

                ?輸入OFF：斷開(kāi)或4?8V

                ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

                檢測(cè)靈敏度切換：本體開(kāi)關(guān)2bit、4或外部輸入的2選擇式

投光元件 LED(調(diào)制式)

材質(zhì) 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

輸出動(dòng)作 可用切換開(kāi)關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)

反應(yīng)時(shí)間          500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器　有效/無(wú)效切換式

投光停止輸入 信號(hào)條件

                ?投光停止：斷開(kāi)或4?8V

                ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

(注2)：檢測(cè)8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)而影響檢測(cè)。
(注3)：對(duì)于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線(xiàn)不能從檢測(cè)面向受光方向反射而難以檢測(cè)。
(注4)：晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，定位邊的大跳動(dòng)角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時(shí)的附近的間距。檢測(cè)帶定位邊的晶圓時(shí)，對(duì)于避開(kāi)定位邊的檢測(cè)位置，晶圓間距變得更窄，檢測(cè)信號(hào)無(wú)法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號(hào)。

PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1